高纯度圆形靶材TA1

钛靶材是由纯钛或其合金通过特定的工艺制备出的具有特定形状(如圆形,方形或者其他复杂的形状)和精细表面的靶材。靶在这里是一个术语,主要用于涉及物理蒸发或溅射过程的领
钛靶材是由纯钛或其合金通过特定的工艺制备出的具有特定形状(如圆形,方形或者其他复杂的形状)和精细表面的靶材。"靶"在这里是一个术语,主要用于涉及物理蒸发或溅射过程的领域,例如在薄膜沉积过程中,钛靶材就作为物质来源,供应原材料。

品名:
高纯度圆形靶材TA1
 
原材料挑选:由于钛靶材主要用于镀膜工艺,选择纯钛的钛块作为原材料是常见的。一个好的原料应该没有明显的外表缺陷如氧化、不纯物、裂痕等,确保原材料的质地均匀且纯度高。
 
熔炼:在熔炼阶段,使用真空电弧熔炼炉将钛原料加热至超过1668摄氏度(钛的熔点),使原材料完全熔化。为了防止气体杂质混入,整个过程需要在高真空环境中进行。一些特定应用可能会要求在护气(如氩气)的环境中进行,来保护靶材不被氧化。
 
锻造:在这个阶段,液态钛被倒入模具中冷却固化,然后使用液压机对其进行力量均匀的压制。在锻造过程中,因为必须保持一定的温度以保证材料的延展性,所以常常会有加热和保温的步骤。
 
粗加工:在此阶段,靶材会首次被机械加工到适用的形状和大小。这可能包括数控车床或者数控铣床的使用,以精确切割和形状化靶材。
 
热处理:多数情况下,靶材需要进行热处理,如固溶处理或退火,在800-1000°C的范围内处理数小时。这些处理的目的是改善材料微观结构,增强其强度和韧性。
 
表面精加工:经过以上处理后,靶材需进行表面精加工,比如研磨和抛光。首先,大概用研磨纸进行大面积的研磨,然后逐渐降低研磨纸的粗度进行细研磨。
 
质量检查:在这个阶段,钛靶材会接受一系列的质量检验,包括UT测量(超声探伤),XRD检验(X射线衍射)确认结构,ICP-AES或 LECO分析等测定化学纯度。
 
装箱发货: 最后,钛靶材需要在无尘环境下封装,通常使用真空包装,以保持产品的纯度。然后将其放入特殊设计的包装箱中以保护产品在运输过程中不受损坏。

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